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半导体材料磨边机专用NAKANISHI空气轴承涡轮式主轴ABT-1600
日期:2025-09-05 16:43
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摘要:NAKANISHI空气轴承涡轮式主轴ABT-1600通过采用空气静**承和新型高性能涡轮小型结构,实现高负载能力和高扭矩,直径φ40、*高转速160,000min-1、跳动精度1μm以内,可安装在半导体材料磨边机上进行半导体芯片边缘研磨、凹槽加工等超精细加工。
NAKANISHI空气轴承涡轮式主轴ABT-1600通过采用空气静**承和新型高性能涡轮小型结构,实现高负载能力和高扭矩,直径φ40、*高转速160,000min-1、跳动精度1μm以内,可安装在半导体材料磨边机上进行半导体芯片边缘研磨、凹槽加工等超精细加工。
转速检测方法
内置磁电传感器(每旋转一周输出 2 个脉冲信号)
气动管路规格
涡轮供气:φ6mm 管径
空气轴承供气:φ4mm 管径
温馨提示:
※当以*高转速(160,000 转 / 分钟)运行时:
1、轴装砂轮及工具的突出长度需控制在 17mm 以下。
2、若工具全长超过 40mm,需截断后使用。
3、若需增加工具突出长度,需降低转速使用。
※必须使用清洁干燥的压缩空气。
※未向空气轴承供气时,严禁旋转主轴或更换刀具 / 夹头(主轴与轴承处于接触状态,此时操作会导致接触部位磨损,可能造成设备功能异常)
※即使主轴处于停止状态,也需持续向空气轴承部位供气。
※先启动主轴旋转,待转速稳定后再开始加工。
ABT-1600 优势:
*高转速16万转可实现高速切削、磨削加工、打孔加工等。
通过气浮轴承和涡轮驱动,可实现高旋转精度。
本体外径为φ40mm,小型紧凑。
通过对涡轮叶片的改良,能以消耗较低空气量的同时输出高扭矩。
采用涡轮排气的冷却结构,实现低发热、低热膨胀。
仅通过简单的气管连接即可轻松使用。
通过利用排气,强化运转中/加工中的防尘效果。
气浮轴承采用硅碳材料,且转轴使用特殊涂层,以提高在特定情况下的耐烧结性。
标准搭载磁性传感器,可与市场销售的旋转显示器连接,
从而实现实时监测如:实际转速、或转速变化、旋转异常等功能。
不使用磁性传感器时,可通过拆解拆下传感器及线缆。(组装方法在操作说明书中另行记载)