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半导体材料磨边机专用NAKANISHI空气轴承涡轮式主轴ABT-1600

日期:2025-09-05 23:41
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摘要:NAKANISHI空气轴承涡轮式主轴ABT-1600通过采用空气静**承和新型高性能涡轮小型结构,实现高负载能力和高扭矩,直径φ40、*高转速160,000min-1、跳动精度1μm以内,可安装在半导体材料磨边机上进行半导体芯片边缘研磨、凹槽加工等超精细加工。

NAKANISHI空气轴承涡轮式主轴ABT-1600通过采用空气静**承和新型高性能涡轮小型结构,实现高负载能力和高扭矩,直径φ40、*高转速160,000min-1、跳动精度1μm以内,可安装在半导体材料磨边机上进行半导体芯片边缘研磨、凹槽加工等超精细加工。

转速检测方法       
内置磁电传感器(每旋转一周输出 2 个脉冲信号)       
气动管路规格      
 涡轮供气:φ6mm 管径 
空气轴承供气:φ4mm 管径

温馨提示:

※当以*高转速(160,000 转 / 分钟)运行时: 

1、轴装砂轮及工具的突出长度需控制在 17mm 以下。 

2、若工具全长超过 40mm,需截断后使用。 

3、若需增加工具突出长度,需降低转速使用。

 ※必须使用清洁干燥的压缩空气。 

※未向空气轴承供气时,严禁旋转主轴或更换刀具 / 夹头(主轴与轴承处于接触状态,此时操作会导致接触部位磨损,可能造成设备功能异常) 

※即使主轴处于停止状态,也需持续向空气轴承部位供气。 

※先启动主轴旋转,待转速稳定后再开始加工。

ABT-1600 优势:
*高转速16万转可实现高速切削、磨削加工、打孔加工等。       
通过气浮轴承和涡轮驱动,可实现高旋转精度。       
本体外径为φ40mm,小型紧凑。       
通过对涡轮叶片的改良,能以消耗较低空气量的同时输出高扭矩。       
采用涡轮排气的冷却结构,实现低发热、低热膨胀。       
仅通过简单的气管连接即可轻松使用。       
通过利用排气,强化运转中/加工中的防尘效果。      
 气浮轴承采用硅碳材料,且转轴使用特殊涂层,以提高在特定情况下的耐烧结性。      
 标准搭载磁性传感器,可与市场销售的旋转显示器连接,
从而实现实时监测如:实际转速、或转速变化、旋转异常等功能。       
不使用磁性传感器时,可通过拆解拆下传感器及线缆。(组装方法在操作说明书中另行记载)

哪怕制造精度再高,如果在旋转过程中发生滚珠轴承等物理运动,都会发生微细的波纹和振动,从而影响加工表面;尽管如此,对于在一般的普通加工来说不是很大的问题,但在要求超高精度的加工时,会希望排除其以上的问题。      

 气浮轴承是为了转轴没有物理接触,通过气压使转轴悬浮, 没有这部分的影响,因此加工面的精度会更好。适用于有很高要求的表面精度的加工,例如内孔研磨加工等。→用于内孔研磨夹具类        

另外,没有物理接触意味着就没有磨损, 无需考虑球轴承等磨损的更换,可半长久使用。适合24小时连续长时间运转

粤公网安备 44030902000461号